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證券日?qǐng)?bào)網(wǎng)3月17日訊，恒運(yùn)昌（688785）在接受調(diào)研者提問(wèn)時(shí)表示，公司是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備（884229）核心零部件供應(yīng)商，主要從事等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，并引進(jìn)真空獲得和流體控制等相關(guān)的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。公司主要產(chǎn)品等離子體射頻電源系統(tǒng)(等離子體射頻電源及匹配器)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體（881121）工藝中的薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等環(huán)節(jié)，且直接決定設(shè)備工藝能力、產(chǎn)品良率。歷經(jīng)十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列等離子體射頻電源系統(tǒng)，成功打破了美系兩大巨頭在國(guó)內(nèi)長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的壟斷格局，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。公司研發(fā)的最新一代等離子體射頻電源系統(tǒng)Cedar系列產(chǎn)品，錨定更先進(jìn)制程前沿領(lǐng)域，目前處于驗(yàn)證階段。