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證券日報網(wǎng)3月17日訊，恒運昌（688785）在接受調(diào)研者提問時表示，經(jīng)過十多年的持續(xù)研發(fā)、不斷創(chuàng)新和積累，公司以技術發(fā)展、行業(yè)需求為雙導向，建立了“基石技術+產(chǎn)品化支撐技術”的技術體系，一方面從測量、控制及架構三方面構建的底層通用的3大基石技術，并基于基石技術，結合半導體設備（884229）中應用，特別是先進制程中更快速、更精準、更穩(wěn)定的應用訴求和實現(xiàn)難點，發(fā)展出8大產(chǎn)品化支撐技術，實現(xiàn)了突破高端等離子體射頻電源系統(tǒng)的先進設計、測量和控制等難題，掌握了信號采樣及處理、相位同步鎖定、快速調(diào)頻、脈沖控制等等離子體射頻電源系統(tǒng)運行中的關鍵技術。頻快速響應能夠使等離子體在最短時間內(nèi)達到穩(wěn)定狀態(tài)，實現(xiàn)對薄膜厚度和膜厚均勻性的精準控制，是設備運行的穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率的關鍵。公司主要產(chǎn)品等離子體射頻電源系統(tǒng)作為薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠和鍵合環(huán)節(jié)生產(chǎn)設備的核心零部件，是半導體（881121）制造中等離子體工藝控制的核心。同時，等離子體射頻電源系統(tǒng)也是半導體設備（884229）零部件國產(chǎn)化最難環(huán)節(jié)之一，在此嚴苛要求下，公司已具備成熟的規(guī)?；慨a(chǎn)能力，公司產(chǎn)品已量產(chǎn)交付拓荊科技（688072）、中微公司（688012）、北方華創(chuàng)（002371）、微導納米（688147）、盛美上海（688082）等國內(nèi)頭部半導體設備（884229）商，并成為薄膜沉積、刻蝕環(huán)節(jié)國內(nèi)頭部設備商的戰(zhàn)略級供應商。